อุตสาหกรรม

โซลูชั่นการผลิตน้ำบริสุทธิ์สูงพิเศษ (Ultrapure Water) สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

ในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์และชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ขั้นสูง "น้ำ" คือหัวใจสำคัญในกระบวนการล้างทำความสะอาดแผ่นเวเฟอร์ (Wafer) และแผงวงจรพิมพ์ (PCB) อินโนวาเทค เอเชีย ออกแบบและติดตั้งระบบผลิตน้ำบริสุทธิ์สูง (DI Water) และน้ำบริสุทธิ์ระดับสูงพิเศษ (Ultrapure Water - UPW) ที่มีความเสถียรและแม่นยำสูง ควบคุมระดับไอออน สารอินทรีย์รวม (TOC) อนุภาคแขวนลอย (Particles) และจุลชีพให้อยู่ในเกณฑ์มาตรฐานสำหรับอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์ เพื่อเพิ่มอัตราผลผลิต (Yield Rate) ลดความสูญเสียในกระบวนการผลิต และตอบโจทย์มาตรฐานอุตสาหกรรมไฮเทคได้อย่างสมบูรณ์แบบ 

ระบบ Ultrapure Water (UPW) สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์จำเป็นต้องควบคุมคุณภาพน้ำในระดับสูงสุด ทั้งค่า Resistivity, TOC, Silica, Dissolved Oxygen และจำนวนอนุภาค (Particle Count) เพื่อป้องกันความเสียหายต่อเวเฟอร์และเพิ่มเสถียรภาพของกระบวนการผลิตในระยะยาว

ขั้นตอนการเตรียมน้ำดิบประสิทธิภาพสูง (Pre-Treatment Stage)

การเตรียมน้ำดิบอย่างถูกต้องเป็นรากฐานสำคัญในการปกป้องระบบกรองขั้นสูงในลำดับถัดไป เพื่อไม่ให้เกิดการอุดตันเร็วเกินไป

• ระบบกรองมัลติมีเดีย (Multi Media Filter) และ Activated Carbon Filter สำหรับลดสารแขวนลอย คลอรีนอิสระ และสารอินทรีย์ที่อาจส่งผลต่ออายุการใช้งานของเมมเบรน RO และ EDI ในน้ำดิบ
• ระบบลดความกระด้าง (Water Softener) ลดความกระด้าง (Hardness) และป้องกันการเกิด Scaling บนเมมเบรน RO ซึ่งเป็นสาเหตุสำคัญของการลดประสิทธิภาพระบบและค่าใช้จ่ายในการบำรุงรักษา
• การเลือกใช้เฮ้าส์ซิ่งและไส้กรองคุณภาพสูง เช่น แบรนด์ PENTEK ในการดักจับอนุภาคละเอียดขั้นต้น ช่วยยืดอายุการใช้งานของระบบทั้งหมด

ระบบกรองน้ำบริสุทธิ์ขั้นปฐมภูมิ (Primary Purification System)

กระบวนการแยกไอออนและสารละลายออกจากน้ำเพื่อเปลี่ยนน้ำดิบให้เป็นน้ำสะอาดขั้นสูง

• การกรองด้วยระบบเมมเบรน ro (Reverse Osmosis System) คุณภาพสูง สามารถลดสารละลายรวม (TDS) ไอออน โลหะหนัก สารอินทรีย์ และสิ่งปนเปื้อนอื่น ๆ ตามประสิทธิภาพของเมมเบรนที่เลือกใช้งาน
• การเลือกใช้เทคโนโลยีเมมเบรนที่เหมาะสม เช่น Ultrafiltration (UF) สำหรับกำจัดอนุภาคแขวนลอยขนาดเล็ก และ Reverse Osmosis (RO) สำหรับลดสารละลายรวม (TDS) และไอออนในน้ำ โดยออกแบบค่า Rejection Rate และ Recovery Rate ตามหลักวิศวกรรม เพื่อให้ได้คุณภาพน้ำตามมาตรฐานอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ พร้อมลดการใช้พลังงานและต้นทุนการดำเนินงาน (OPEX) ในระยะยาว

ระบบฆ่าเชื้อและลดสารอินทรีย์รวม (TOC Reduction & UV Sterilization)

ควบคุมและทำลายสิ่งมีชีวิตขนาดเล็กรวมถึงลดปริมาณคาร์บอนอินทรีย์รวม (TOC) ให้ได้ตามเกณฑ์มาตรฐานที่เข้มงวด

• การติดตั้งเทคโนโลยีแสงยูวีประสิทธิภาพสูง (Industrial UV Disinfection) จากแบรนด์ระดับโลกอย่าง Viqua UV และ ATG UV
• ประยุกต์ใช้ระบบ UV Oxidation (185/254 nm) สำหรับลด Total Organic Carbon (TOC) และควบคุมการเจริญเติบโตของจุลชีพในระบบผลิตน้ำบริสุทธิ์สูง และยับยั้งการเพิ่มจำนวนของจุลชีพและลดความเสี่ยงจากการปนเปื้อนทางชีวภาพในระบบผลิตน้ำ โดยไม่มีการใช้สารเคมีตกค้างที่จะไปรบกวนพื้นผิวของชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์

ระบบปรับปรุงคุณภาพน้ำบริสุทธิ์ขั้นสุดท้าย (Polishing Stage)

ขั้นตอนการผลิตน้ำให้เข้าสู่ระดับ Ultrapure Water (UPW) ที่มีค่าความต้านทานไฟฟ้าจำเพาะ (Resistivity) สูงสุดได้ถึง 18.2 MΩ·cm ที่อุณหภูมิ 25°C ซึ่งเป็นมาตรฐานของน้ำ Ultrapure Water สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

• ระบบต่อเนื่องในการแลกเปลี่ยนไอออนด้วยไฟฟ้า (EDI - Electrodeionization) ขจัดไอออนที่เหลืออยู่ได้อย่างต่อเนื่องโดยไม่ต้องใช้สารเคมีในการฟื้นฟูสภาพ
• ระบบถังกรองเรซินชนิด Electronic Grade Mixed Bed Resin ที่ออกแบบสำหรับการควบคุม Silica, Boron และ Trace Ions ในระดับต่ำมากทำหน้าที่ขจัดไอออนในขั้นตอนสุดท้าย เพื่อให้มั่นใจในความบริสุทธิ์สูงสุดของน้ำก่อนส่งเข้าสู่กระบวนการผลิตชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์

ระบบตรวจสอบคุณภาพน้ำและมาตรฐานความปลอดภัย (Water Quality Monitoring)

เพื่อเสถียรภาพและความน่าเชื่อถือ (Reliability) สูงสุดในภาคอุตสาหกรรม

• ติดตั้งระบบวัดค่าออนไลน์ (On-line Monitoring) ตรวจสอบค่า ความต้านทานไฟฟ้าจำเพาะ (Resistivity), ค่าการนำไฟฟ้า (Conductivity), คาร์บอนอินทรีย์รวม (Total Organic Carbon: TOC), ซิลิกา (Silica), ออกซิเจนละลายน้ำ (Dissolved Oxygen: DO) และ จำนวนอนุภาคปนเปื้อน (Particle Count) แบบ Real-time ตลอด 24 ชั่วโมง
• ควบคุมมาตรฐานโดยทีมวิศวกรผู้เชี่ยวชาญ พร้อมบริการบำรุงรักษาเชิงป้องกัน (Preventive Maintenance) เพื่อลดความเสี่ยงต่อการหยุดชะงักของกระบวนการผลิต (Production Downtime)

ระบบรีไซเคิลน้ำและการจัดการน้ำเสียเพื่อความยั่งยืน (Water Recycle & ESG โซลูชั่น)

เนื่องจากการผลิตน้ำบริสุทธิ์สูงมีการสูญเสียน้ำในระบบ อินโนวาเทค เอเชีย จึงออกแบบระบบหมุนเวียนน้ำเสียจากกระบวนการล้างชิ้นส่วนกลับมาปรับปรุงคุณภาพด้วยเทคโนโลยีเยื่อกรองเมมเบรนขั้นสูง เพื่อนำไปใช้ซ้ำในระบบหล่อเย็น (Cooling Tower) ระบบ Utility หรือกระบวนการที่ไม่สัมผัสผลิตภัณฑ์โดยตรง ช่วยลดการใช้น้ำดิบและลดค่าใช้จ่ายด้านสาธารณูปโภคอย่างมีนัยสำคัญ หรือกิจกรรมอื่นๆ ช่วยโรงงานประหยัดต้นทุนค่าน้ำดิบอย่างมหาศาล และตอบโจทย์นโยบายการลดผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อมและความยั่งยืน (ESG) อย่างเป็นรูปธรรม